Oddelenie senzorov a nanotechnológií (OSNT)

Diamant 1A

 Vedúci oddelenia: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc.  

Pracovníci oddelenia: 

  1. BEHÚL Miroslav, Ing. PhD.
  2. BREZA Juraj, prof.,Ing.,PhD.
  3. HOTOVÝ Ivan, prof., Ing., PhD.
  4. IVAN Jozef
  5. KADLEČÍKOVÁ Magdaléna, Ing., CSc.
  6. MARTON Marián, Ing., PhD.
  7. MICHNIAK Pavol, Ing., PhD.
  8. ŘEHÁČEK Vlastimil, RNDr., PhD.
  9. VOJS Marián, Ing., PhD.
  10. CHYMO Filip, Ing.
  11. ONDREJKA Peter, Ing.

 Doktorandi:

  1. Ing. XXX
     
Slovak diamond group LogoSlovenská diamantová skupina

Pedagogika: Oddelenie zabezpečuje v bakalárskom stupni výučbu základného predmetu Senzorika. Jeho obsahom sú základné princípy senzorov rôznych typov fyzikálnych a chemických veličín a ich konverzie na elektrický signál, metodické postupy pri návrhu, príprave, hodnotení vlastností a aplikácií jednotlivých typov senzorov, ako aj spracovanie elektrického signálu z rôznych typov senzorov a príklady prípravy a technológia výroby senzorových prvkov. V rámci IŠ vyučujeme predmet Senzorové mikrosystémy, ktorého hlavnou náplňou sú  metodické postupy pri návrhu, konštrukcii a hodnotení vlastností senzorových mikrosystémov s dôrazom na ich miniaturizáciu a integráciu. Oddelenie zabezpečuje výučbu v šk.roku 2016/2017 v predmetoch: Bakalárske štúdium Senzorika Prednášajúci: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc., Ing. Erik Vavrinský, PhD. Cvičiaci: Ing. Erik Vavrinský, PhD. Sensorics (v anglickom jazyku), Prednášajúci: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc. Cvičiaci: Ing. Erik Vavrinský, PhD., Ing. Martin Predanocy, PhD. Inžinierske štúdium Senzorové mikrosystémy Prednášajúci: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc. Cvičiaci: RNDr. Vlastimil Řeháček, PhD., Ing. Martin Predanocy, PhD., Ing. Pavol Nemec Microsystem Technology (v anglickom jazyku) Prednášajúci: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc. Cvičiaci: RNDr. Vlastimil Řeháček, PhD., Ing. Martin Predanocy, PhD., Ing. Pavol Nemec Výskum:

  • Základný výskum inovovaných typov senzorov plynov využívajúcich jednoduché a/alebo zložené polovodivé oxidy kovov, ktoré môžu byť aj povrchovo tvarované, modifikované pomocou nanokryštalických častíc alebo dopované.
  • Integrácia zmiešaných a/alebo nanotvarovaných vrstvy oxidov kovov do senzorových štruktúr so skríženými elektródami a elektródami s planárnym usporiadaním za účelom testovania ich detekčných vlastností.
  • Aplikácia tenké vrstvy oxidov kovov do MEMS štruktúr s polyimidovou membránou a  testovanie elektrických vlastnosti MEMS senzorov pri detekcii rôznych plynov.

Laboratóriá a unikátne prístroje:

  • Expozičné zariadenie pre obojstrannú a DUV optickú litografiu: MA/BA6 (Karl Suss),
  • Expozičné zariadenie pre optickú litografiu: KSM MJB 3HP (Karl Suss),
  • Depozičné zariadenia s magnetrónovými zdrojmi (Balzers),
  • Depozičné a leptacie zariadenie: PE CVD, CVD/ICP, RIE, RIE/ICP, Vakutec 310/320, (FHR),
  • Zariadenie na meranie a testovanie smart senzorov PLV 50 s meracím príslušenstvom, Cascade,
  • Zariadenie na prípravu nízkych koncentrácií plynov a pár organických zlúčenín vybavené hmotnostnými prietokometrami AERA

 Projektová činnosť: aktuálna

  • Sensor technologies enhanced safety and security of buildings and its occupants, 7. RP ENIAC JU č. 621272/2014, 2014-2017
  • Nanoštruktúrne tenkovrstvové materiály a inovatívne technológie pre MEMS senzory plynov a ťažkých kovov, VEGA: 1/0828/16, 2016-2019.
  • Nanostructured active materials for gas detection and determination of heavy metals, Program podpory výmeny osôb na spoločnom projekte MŠ SR a DAAD, 2016-2017.