Laboratóriá
Laboratórium elektrickej, optickej a analytickej charakterizácie mikroelektronických, senzorických a fotonických štruktúr
Kontaktná osoba: prof. Ing. Jaroslav Kováč,PhD.
email: jaroslav.kovac@stuba.sk
Technické vybavenie/zariadenia
Atomic Force Microscope – AFM, Park systems XE-100
Spektrálny elipsometer (PhE-102) v rozsahu 250-1100nm
Ramanovská spektroskopiaUV-VIS ( S&I Spectroscopy & Imaging GmbH) s využitím budiacich laserov He-Cd s emisnou vlnovou dĺžkou 325 nm a optickým výkonom 50 mW,
Argónový laser (514/488 nm) s možnosťou preladenia, 120 mW na 488 nm & 120 mWna 514 nm, chladený EMCCD s eXcelon detektorom a konfokálnym Ramanovským mikroskopom BX51 Olympus (prevádzkovaný v MLC)
Agilent 4155C
Modulárne litografické zariadenie MA6 predurčené na výskumné účely v oblastiach, ako nanotechnólogie, fotonika, solárne články, SMART senzorické systémy
Hrotový prípravok s mikroposuvmi(Süss Microtech)
Parametrický analyzátor s programovateľným riadením (ICV Lite) obsahuje 4 zabudované precízne zdroje +/- 100V, 0,1 A s napäťovým rozlíšením 2 mV a prúdovým rozlíšením 10 fA a s možnosťou impulzného režimu 500ms-100ms. Doplnkom je vymeniteľný výkonový blok +/-200 V,1 A a pre dynamické merania impulzný generátor PGU s rozsahom +/-40V, 1ms-10s a 4 kanálový osciloskop Agilent DSO5054A so šírkou pásma 500 MHz.
BIORAD DL8000 DLTFS
Technológie
Najväčšie čisté priestory na Slovensku. Trieda čistoty ISO 5 (americká trieda 100) s maximálnym počtom 3 520 častíc väčších ako 0,5 µm a maximálne 29 častíc väčších ako 5 µm na 1 m3 sa dosahuje v najčistejšej miestnosti (litografia) a laminárnych boxoch
Mokrá aj suchá depozícia organických materiálov, pasivácia a tvarovanie
Litografia
Rast oxidových (SiO2, SiOxNy) a/alebo nitridových vrstiev (SiN, Si3N4)
Plazmatický systém rastu vrstiev chemickou depozíciou z pár
Modul tzv. „nano-odtlačkovej“ litografie (Nano-imprint Lithography)
Zariadenie PlasmalabSystem 100
Zariadenie Plasma Lab 80 Plus
Zariadenie PVD 75, s možnosťou kombinácie termického odparovania, odparovania elektrónovým zväzkom, prípadne magnetrónovým odprašovaním.
Povrchová morfológia nanometrových rozmerov pomocou atómového silového mikroskopu
Optické metódy spektrálnej elipsometrie
Elektrické vlastností mikro a optoelektronických prvkov pomocou parametrického analyzátora obvodov
Metóda DLTFS
Elektrické vlastností mikro a optoelektronických prvkov pomocou parametrického analyzátora obvodov
Servis/služby
Analýza povrchovej morfológie nanometrových rozmerov pomocou atómového silového mikroskopu
Charakterizácia optických vlastností štruktúr metódami spektrálnej elipsometrie
Charakterizácia elektrických vlastností mikro a optoelektronických prvkov pomocou parametrického analyzátora obvodov
Charakterizácia hlbokých hladín v polovodičoch a heteroštruktúrach pomocou metódy DLTFS
Služby v oblasti vývoja a výroby organických, fotonických a iných polovodičových štruktúr
Vzdelávanie)
Komplexný vzdelávací proces zameraný na fyziku, technológie a diagnostiku pokrokových polovodičých štruktúr a obvodov, na optimalizáciu technologických procesov a charakterizáciu vlastností perspektívnych mikro/nano a optoelektronických a fotonických štruktúr a prvkov, najmä tranzistorov typu HEMT, solárnych článkov a senzorov. Komplexný vzdelávací proces zameraný na dynamicky sa rozvíjajúce oblasti elektroniky.
Laboratórium organickej elektroniky
Kontaktná osoba: prof. Ing. Martin Weis, DrSc.
email: martin.weis@stuba.sk
Technické vybavenie/zariadenia
Vlastné zariadenie na pasiváciu organických elektronických štruktúr a tvorbu tenkých izolačných vrstiev, ktoré umožňuje dosahovať o rád tenšie homogénne izolačné vrstvy ako komerčne dostupné technológie. Vďaka tomu je možné realizovať celú technológiu prvkov organickej elektroniky v jednom laboratóriu
Technológie
Laboratórium je vybavené technológiou potrebnou na prípravu elektronických prvkov, ako sú organické svetlo-emitujúce diódy (OLED) alebo organické poľom riadené tranzistory (OFET),
ako aj na ich charakterizáciu.
Servis/služby
Návrh, príprava, testovanie a analýza organických elektronických prvkov, ako sú organické svetlo-emitujúce diódy (OLED) alebo organické poľom riadené tranzistory (OFET)..
Aplikácie v oblasti integrovanej organickej elektroniky, flexibilnej elektroniky, organickej senzoriky, alebo aj organickej optoelektroniky. Výskum organických solárnych článkov
Vzdelávanie)
Komplexný vzdelávací proces zameraný na návrh, prípravu, testovanie a analýzu organických elektronických prvkov, ako sú organické svetlo-emitujúce diódy (OLED) alebo organické poľom riadené tranzistory (OFET).
Laboratórium uhlíkových nanoštruktúr a grafénových vrstiev
Kontaktná osoba: Ing. Marián Vojs, PhD.
email: marian.vojs@stuba.sk
Technické vybavenie/zariadenia
SEM Cold Cathode Microscope JEOL JSM 7500
Raman Spectrometer (ISA-Jobin Yvon-Dilor-Horiba, 633 nm)
AUTOLAB PGSTAT128N with automatic Dosino system
RF RIE etching system Plasma PE 200
Linear antenna microwave CVD reactor, low temp large area (20x30cm) deposition (Scia systems)
Hot Filament CVD diamond reactor (home-made)
Microwave/Hot Filament CVD diamond reactor (home-made)
Arc Discharge Reactor for CNT Growth (home-made)
CVD Reactor for CNT Growth (home-made)
RTA - Rapid Thermal Annealing (home-made)
Evaporation equipment for thin films deposition (home-made)
Contact Angle Measurement System (home-made)
Helium leak detector HLT570 (Pfeiffer vacuum)
Technológie
Depozícia intrinzických a bórom dopovaných mikro- nano-diamantových vrstiev, uhlíkových nanorúrok, grafénových nanostien, DLC vrstiev
Čistenie odpadových vôd, odtokov, bazénov pokročilými elektrochemickými oxidačnými metódami
Výroba elektród a systémov pre elektrochemickú analýzu a degradáciu
Elektrochemická analýza roztokov (ťažké kovy, biomolekuly, liečivá, drogy)
Vákuové naparovanie a naprašovanie tenkých vrstiev kovov
Plazmatické leptanie v RF a DC plazme
Teplotné žíhanie do 800°C (RTA) vo vákuu alebo plynnej atmosfére
Servis/služby
Analýza materiálov metódami SEM a Ramanovej spektroskopie
Hľadanie a odstránenie vákuových netesností
Odborné poradenstvo a služby v oblasti vákuových technológií a nanotechnológií
Vzdelávanie
Komplexný vzdelávací proces zameraný na fyziku vákua a vákuové technológie a nanotechnológie
Laboratórium elektrofyzikálneho modelovania a simulácie
Kontaktná osoba: doc. Ing. Aleš Chvála, PhD.
email: ales.chvala@stuba.sk
Technické vybavenie/zariadenia
PC Intel Core i7 2600 3.4GHz, 24GB RAM
PC Intel Core i7 2600 3.4GHz, 24GB RAM
PC Intel Core i7 3770 3.4GHz, 32GB RAM
PC Intel Core i7 930 3.5GHz, 6GB RAM
Technológie
10 x licencia Synopsys TCAD Sentaurus
20 x licencia HSPICE
Servis/služby
Návrh, analýza a optimalizácia polovodičových štruktúr a systémov podporená simuláciou a modelovaním
Vzdelávanie
Možnosť vzdelávať a podieľať sa na riešení medzinárodných projektov pri spolupráci domácich a zahraničných partnerov pri riešení úloh návrhu, analýzy a optimalizácii pokrokových polovodičových štruktúr
Laboratórium návrhu a testovania integrovaných obvodov a systémov
Kontaktná osoba: prof. Ing. Viera Stopjaková, PhD.
email: viera.stopjakova@stuba.sk
Technické vybavenie/zariadenia
Návrhársky softvér (kompatibilný s vybavením komerčných firiem - CADENCE, MENTOR GRAPHICS, SYNOPSYS, CST Microwave) a meracia technika, ako aj prístup k najmodernejším polovodičovým technológiám s rozmerom hradla tranzistora pod 100 nm (CMOS, BiCMOS)
Technológie
Technológie s rozmerom hradla tranzistora pod 100 nm (CMOS, BiCMOS)
Servis/služby
Laboratórium umožňuje návrh či integráciu obvodov a systémov napr. pre inteligentné mikrosenzory, predspracovanie snímaných signálov priamo na čipe, mobilné biomedicínske zariadenia (biomonitorovacie systémy, neuročipy a neuroprotézy), monitorovanie spotreby energie, zberače energie na čipe, atď. Vývoj metodík testovania zmiešaných integrovaných obvodov a systémov priamo na čipe, akými sú parametrické testovacie techniky, či využitie umelých neurónových sietí v diagnostike IO.
Vzdelávanie
Komplexný vzdelávací proces zameraný na návrh a testovanie integrovaných obvodov
Laboratórium lekárskej a aplikovanej elektroniky
Kontaktná osoba: doc. Ing. Martin Donoval, PhD.
email: martin.donoval@stuba.sk
Technické vybavenie/zariadenia
Elektronické meracie a riadiace systémy pre návrh elektronických obvodov a biometrických zariadení. Medzi špičkové zariadenia patria UIS multipulzný tester, biometrické snímacie zariadenia pre bezdrôtové snímanie EKG, stabilometrická platňa, CnC frézovacie zariadenie, poloautomatická osádzačka elektronických obvodov - PCB, pec na zapekanie PCB, vybavenie pre realizáciu a analýzu elektronických systémov
Technológie
Súčasné moderné návrhové a konštrukčné metódy na výrobu elektronických obvodov a biometrických zariadení.
Servis/služby
Vývoj mikroprocesorových systémov, biometrických systémov na meranie presných biometrických veličín, ako sú EKG, EMG, respiračná frekvencia a ďalšie. Vývoj presných meracích systémov na monitorovanie elektrických veličín. Vývoj elektronických a senzorických systémov, vývoj precíznych PCB, riadiacich systémov. Dátový prenos prostredníctvom bezdrôtových sietí, priemyselných zberníc, internetu. Realizácia aplikácií pre smart-telefóny, ktoré ovládajú bezdrôtové jednotky – napríklad senzorické systémy a prenášajú dáta na server. Príprava serverového riešenia na prijímanie a spracovanie dát.
Vzdelávanie
Vzdelávanie v oblasti návrhu elektronických obvodov a systémov, programovania mikroprocesorov, využitia moderných súčiastok, prípravy bezdrôtového prenosu, využitia analógových a digitálnych súčiastok.
Laboratórium tenkovrstvových senzorických štruktúr
Technické vybavenie/zariadenia
- univerzálna komora na testovanie elektrických vlastností senzorov a mikrosystémov vo vákuu a pri zvýšených teplotách ako aj za prítomnosti plynov
- zariadenie na plazmatické leptanie a tvarovanie nanoštruktúrnych motívov s výkonným ICP zdrojom
Technológie
- tenkovrstvové naprašovacie technológie, plazmatické leptacie procesy, fyzikálno-chemické modifikovanie povrchu
Servis/služby
- návrh, vývoj a realizácia mikrosenzorov teploty a plynu
Vzdelávanie
- v oblasti moderných technológií prípravy tenkých vrstiev, v oblasti návrhu, modelovania a vývoja senzorov a mikrosystémov, v oblasti prípravy a tvarovania mikroštruktúr