OSNT
Vedúci oddelenia: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc.
Pracovníci oddelenia:
- BEHÚL Miroslav, Ing. PhD.
- BREZA Juraj, prof.,Ing.,PhD.
- HOTOVÝ Ivan, prof., Ing., PhD.
- IVAN Jozef
- KADLEČÍKOVÁ Magdaléna, Ing., CSc.
- MARTON Marián, Ing., PhD.
- MICHNIAK Pavol, Ing., PhD.
- ŘEHÁČEK Vlastimil, RNDr., PhD.
- VOJS Marián, Ing., PhD.
- CHYMO Filip, Ing.
- ONDREJKA Peter, Ing.
Doktorandi:
- Ing. XXX
Pedagogika: Oddelenie zabezpečuje v bakalárskom stupni výučbu základného predmetu Senzorika. Jeho obsahom sú základné princípy senzorov rôznych typov fyzikálnych a chemických veličín a ich konverzie na elektrický signál, metodické postupy pri návrhu, príprave, hodnotení vlastností a aplikácií jednotlivých typov senzorov, ako aj spracovanie elektrického signálu z rôznych typov senzorov a príklady prípravy a technológia výroby senzorových prvkov. V rámci IŠ vyučujeme predmet Senzorové mikrosystémy, ktorého hlavnou náplňou sú metodické postupy pri návrhu, konštrukcii a hodnotení vlastností senzorových mikrosystémov s dôrazom na ich miniaturizáciu a integráciu. Oddelenie zabezpečuje výučbu v šk.roku 2016/2017 v predmetoch: Bakalárske štúdium Senzorika Prednášajúci: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc., Ing. Erik Vavrinský, PhD. Cvičiaci: Ing. Erik Vavrinský, PhD. Sensorics (v anglickom jazyku), Prednášajúci: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc. Cvičiaci: Ing. Erik Vavrinský, PhD., Ing. Martin Predanocy, PhD. Inžinierske štúdium Senzorové mikrosystémy Prednášajúci: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc. Cvičiaci: RNDr. Vlastimil Řeháček, PhD., Ing. Martin Predanocy, PhD., Ing. Pavol Nemec Microsystem Technology (v anglickom jazyku) Prednášajúci: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc. Cvičiaci: RNDr. Vlastimil Řeháček, PhD., Ing. Martin Predanocy, PhD., Ing. Pavol Nemec Výskum:
- Základný výskum inovovaných typov senzorov plynov využívajúcich jednoduché a/alebo zložené polovodivé oxidy kovov, ktoré môžu byť aj povrchovo tvarované, modifikované pomocou nanokryštalických častíc alebo dopované.
- Integrácia zmiešaných a/alebo nanotvarovaných vrstvy oxidov kovov do senzorových štruktúr so skríženými elektródami a elektródami s planárnym usporiadaním za účelom testovania ich detekčných vlastností.
- Aplikácia tenké vrstvy oxidov kovov do MEMS štruktúr s polyimidovou membránou a testovanie elektrických vlastnosti MEMS senzorov pri detekcii rôznych plynov.
Laboratóriá a unikátne prístroje:
- Expozičné zariadenie pre obojstrannú a DUV optickú litografiu: MA/BA6 (Karl Suss),
- Expozičné zariadenie pre optickú litografiu: KSM MJB 3HP (Karl Suss),
- Depozičné zariadenia s magnetrónovými zdrojmi (Balzers),
- Depozičné a leptacie zariadenie: PE CVD, CVD/ICP, RIE, RIE/ICP, Vakutec 310/320, (FHR),
- Zariadenie na meranie a testovanie smart senzorov PLV 50 s meracím príslušenstvom, Cascade,
- Zariadenie na prípravu nízkych koncentrácií plynov a pár organických zlúčenín vybavené hmotnostnými prietokometrami AERA
Projektová činnosť: aktuálna
- Sensor technologies enhanced safety and security of buildings and its occupants, 7. RP ENIAC JU č. 621272/2014, 2014-2017
- Nanoštruktúrne tenkovrstvové materiály a inovatívne technológie pre MEMS senzory plynov a ťažkých kovov, VEGA: 1/0828/16, 2016-2019.
- Nanostructured active materials for gas detection and determination of heavy metals, Program podpory výmeny osôb na spoločnom projekte MŠ SR a DAAD, 2016-2017.